工业

用于生产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体表面吸附活的减尾剂。为阿米卡星药用中间体，是羟基及氨基保护剂。特种有机合成。硅烷化试剂，生产上可用于西胺卡那霉素。 [2] 

医药

可用于特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。

矿业

可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理，其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。

在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。

在有机硅氮烷化学中，可以用作与氯硅烷单体进行氯交换，从而获得聚硅氮烷。这种方法比直接通氨法在合成上有巨大优势。